Название книги: Технологии субмикронных структур микроэлектроники


Автор: А. П. Достанко


ISBN: 9789850822987


Издательство: Издательский дом ???Белорусская наука???


Год: 2018


Кол-во стр.: 273


Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.