Название книги: Физические основы кремниевой наноэлектроники


Автор: Г. И. Зебрев


ISBN: 9785001018308


Издательство: Лаборатория знаний


Год: 2020


Кол-во стр.: 243


Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур".